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超声波扫描显微镜SAT
X射线X-ray
I/V自动曲线追踪仪Auto Curve Tracer
酸开封机Decap
激光开封机Laser Decap
微光显微镜EMMI(P-100)
EMMI和OBIRCH二合一系统TIVA
双面探针台DPW-1200
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8寸探针台PW-800
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经济型6寸探针台MPW-600
4寸探针台PW-400
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扫描电镜SEM
聚焦离子束FIB
金刚石带锯切割机Allied Diamond Band Saw
高速精密切割机 Allied TechCut 5™
自动研磨机Allied MultiPrep™
真空镶嵌机 Allied Tech Press 3™
离子刻蚀机RIE-10NR
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东、南、西、北测试臂
DC~10/40/50/67GHZ (GSG,GS,SG)
Pitch 100~1500um
探针材料:BeCu/Tungsten
品牌:GGB