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双面探针台DPW-1200
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扫描电镜SEM
聚焦离子束FIB
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高速精密切割机 Allied TechCut 5™
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离子刻蚀机RIE-10NR
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RIE-1C是一种紧凑的反应离子刻蚀系统。该系统是洁净室空间有限的实验室的理想解决方案，其设计可优化刻蚀速率、均匀性和选择性，尤其适合去除I …
RIE-10NR是一种新型的低成本、高性能、全自动反应离子刻蚀系统，能够满足非腐蚀性气体化学苛刻的工艺要求。计算机化触摸屏为工艺配方编程和存 …
