高压探针台HPW

● Failure analysis 集成电路失效分析

● Wafer level reliability 晶圆可靠性认证

● Device characterization 元器件特性量测

● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)

● IC Process monitoring 制程监控

● Package part probing IC封装阶段打线品质测试

● ESD&TDR testing ESD和TDR测试

● Microwave probing 微波量测(高频)

● Solar太阳能领域检测分析

● LED、OLED、LCD领域检测分析

项目		性能指标	备注
可测圆片尺寸		4 ,6 ,8 ,12 inch
可测电压		3KV；10KV
可测电流		10A（DC）;100A(pluse)
X、Y工作台	行程	X/Y：8inch x 8 inch	根据晶圆尺寸而定
	分辨率	1μm
	控制	进口导轨
CHUCK	平面度	≤10μm	背面需要加电极（可选）
CHUCK	晶圆固定方式	真空吸附，分档控制	背面需要加电极（可选）
Chuck Z轴（可选）	行程	10mm
Chuck Z轴（可选）	分辨率	1μm
Chuck θ轴（可选）	微调范围	±7º （分辨率为0.1°）
Platen 平台	材料	非抛光型不锈钢+特种铝合金
	容量	6-8个DC针座或者4个RF针座
	微调旋钮	分辨率为1um 移动范围为25mm 导轨式移动
	升降	8mm行程的升降抬杆，可锁定重复度精度为±2um
上、下片	方式	手动
上、下片	行程	90 mm
显微镜	配置	（1）体式显微镜目镜：20X 变倍范围：0.75X-5X 总放大倍数：15x-100x LED 光源照明（2）金相显微镜目镜：20x Zoom：1-2x 物镜：2x，10x，20x，50x 总放大倍数：20x-1000x 光纤光源系统	根据客户测试参数要求而定
	行程	X/Y:2 inch x 2inch (分辨率：1um) Z: 2inch
	抬起功能	显微镜可抬起，便于切换镜头。抬起后可以锁定，防止掉落。
屏蔽罩（可选）		L1350W900H1300mm
防震桌（可选）		WDH:1100800900mm

● 射频测试探头及电缆 ● 有源探头 ● 低电流/电容模块 ● 高压模块 ● 激光修复 ● 高清数字相机 ● 探针卡/封装/PCB板夹具 ● Hot Chuck

● 各种型号示波器 ● 各种品牌型号的源表 ● 是德B1500、4155、4156 ● 泰克4200 ●各品牌的网络分析仪

关于我们