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产品展示
● Failure analysis 集成电路失效分析
● Wafer level reliability 晶圆可靠性认证
● Device characterization 元器件特性量测
● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)
● IC Process monitoring 制程监控
● Package part probing IC封装阶段打线品质测试
● ESD&TDR testing ESD和TDR测试
● Microwave probing 微波量测(高频)
● Solar太阳能领域检测分析
● LED、OLED、LCD领域检测分析
项 目 | 性能指标 | 备注 | |
可测圆片尺寸 | 4，6，8，12 inch | ||
X、Y工作台 | 行程 | X/Y：12 inch x 12 inch | |
分辨率 | 1μm | ||
控制 | 进口导轨 | ||
气浮装置 | 大范围快速移动（气浮控制旋钮） | ||
CHUCK | 平面度 | ≤10μm | 背面需要加电极（可选） |
晶圆固定方式 | 真空吸附，分档控制 | ||
Chuck Z轴（可选） | 行程 | 10mm | |
分辨率 | 1μm | ||
Chuck θ 轴（可选） | 微调范围 | ± 7 | |
Platen 平台 | 材料 | 非抛光型不锈钢+特种铝合金 | |
容量 | 6-8个DC针座或者4个RF针座 | ||
微调旋钮 | 分辨率为1um 移动范围为25mm 导轨式移动 | ||
升降 | 8mm行程的升降抬杆，可锁定 重复度精度为±2um | ||
上、下片 | 方式 | 手动 | |
行程 | 90mm | ||
显微镜 | 配置 | （1）体式显微镜 目镜：20X 变倍范围：0.75X-5X 总放大倍数：15x-100x LED 光源照明 （2）金相显微镜 目镜：10x Zoom：1-2x 物镜：2x，10x，20x，50x 总放大倍数：20x-1000x 光纤光源系统 | 根据客户测试参数要求而定 |
行程 | X/Y:2inch x 2inch (分辨率：1um) Z: 2inch | ||
气动升降 | 显微镜气动升降，便于切换镜头 | ||
屏蔽罩（可选） | L1350*W900*H1300mm | ||
防震桌（可选） | W*D*H:1100*800*900mm | ||
● 射频测试探头及电缆 ● 有源探头 ● 低电流/电容模块 ● 高压模块 ● 激光修复 ● 高清数字相机 ● 探针卡/封装/PCB板夹具 ● Hot Chuck
● 各种型号示波器 ● 各种品牌型号的源表 ● 是德B1500、4155、4156 ●泰克4200 ● 各品牌的网络分析仪
1 | 环境温度：18-28°C | ||||||||
2 | 相关湿度：20%-60% | ||||||||
3 | 现场要求：水平地板且足够承受设备重量 较小的机械震动 通风良好且无阳光直射 靠近电源设备 切勿靠近易爆、有毒气体 | ||||||||
4 | 电源 | 系统： 无 | |||
配件： • 220V 交流额定值，50Hz • 真空泵：220V/50HZ, 14W, 0.16A • 空压机：220V/50HZ，额定电流2.8A，输出功率580W • CCD：输入220V/50HZ，额定电流0.31A；输出12V/1.0A • 显微镜光源：220V, 50HZ, 200W | |||||
5 | 压缩空气 | 空气要求 | 气压 | 流量 | 连接器外径 |
洁净、干燥、无油 | 0.4-0.6 MPa (58-87 psi) | / | 6mm | ||
6 | 真空 | / | <400mbar absolute，-610mbar gage | 5 l/min（0.18 CFM）at SATP | 6mm |
7 | 外形尺寸 | 物理尺寸（WxDxH） | 900mm宽*880mm长*800mm高（含显微镜） | ||||||
屏蔽箱：1350mm长*900mm宽*1300mm高 | |||||||||
防震桌：1200mm长*800mm宽*800mm高 | |||||||||
货运尺寸（WxDxH） | 探针台及配件货箱：980 x 840 x 900mm | ||||||||
屏蔽箱货箱：1500 x 1050 x 1350mm | |||||||||
防震桌货箱：1200 x 810 x 720mm | |||||||||
8 | 重量 | 探针台重量 | 200 kg | ||||||
货运重量（带包装） | 探针台及配件货箱：230kg | ||||||||
屏蔽罩（带防震台）：300 kg | |||||||||
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